لایه نازک (Thin Film) به لایه ای از
مواد گویند که دارای ضخامت نانومتری تا محدوده چندین میکرومتر می باشد. این لایه
بر روی سطح قطعات و مواد دیگر قرار گرفته و به آن خصوصیت ویژه و جدیدی را می بخشد.
اصولا در لایه نشانی دو روش کلی رسوب گذاری فیزیکی از فاز بخار و هدف از این مقاله مروری بر مکانیزم عملکرد و اصول کلی فرایند روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار (CVD) است. همچنین در این مقاله مزایا و معایب این روش نسبت به سایر روش ها آورده است. روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار خود شامل انواع روش هایی است که با توجه ظرافت ها و پیچیدگی های روش قابل انتخاب است.
جهت بالا بردن خواص قطعه از جمله مقاومت در برابر سایش و نیز مقاومت در برابر خوردگی، یکی از روشهای مرسوم و اقتصادی، اعمال پوشش های سخت است. در یک نگاه کلان، روش های ایجاد لایه نازک (از فاز بخار) را به دو دسته کلی رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار (CVD) و رسوبگذاری فیزیکی از فاز بخار (PVD) تقسیم بندی می کنند که هر کدام شامل چندین روش مختلف می باشد. در بین روش های بی شماری که در دنیا وجود دارد، بر حسب نوع قطعه و ویژگی مورد انتظار، روش مناسب بایستی انتخاب شود.
لذا در این مقاله صرفا با کلیات و مکانیزم ها و بیان انواع روش رسوبگذاری فیزیکی از فاز بخار برای ایجاد پوشش های نانوساختار آشنا خواهید شد. همچنین در شماره های آتی با ایجاد پوشش های نانوساختار به روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار آورده خواهد شد.